能量色散X射線分析基于X射線熒光(X-Ray Fluorescence,XRF)原理。當(dāng)高能X射線照射到樣品表面時(shí)，原子內(nèi)部的電子會(huì)被激發(fā)至高能級(jí)，隨后躍遷回低能級(jí)時(shí)會(huì)釋放出特征X射線，即X射線熒光。這些特征X射線的能量與其原子序數(shù)直接相關(guān)，因此通過檢測(cè)并分析這些X射線的能量分布，就能準(zhǔn)確識(shí)別樣品中的化學(xué)元素及其含量。

　　在實(shí)際應(yīng)用中，能量色散X射線分析儀通常作為掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope,SEM）或透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope,TEM）的附件使用，實(shí)現(xiàn)從微觀尺度上進(jìn)行精確的元素分布和定量分析。此外，獨(dú)立的便攜式能量色散X射線分析設(shè)備也在現(xiàn)場(chǎng)勘查、礦產(chǎn)資源評(píng)估、環(huán)保污染物監(jiān)測(cè)、產(chǎn)品質(zhì)量控制等方面展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。

　　能量色散X射線分析具有諸多優(yōu)點(diǎn)：首先，它無需復(fù)雜的樣品預(yù)處理，可以對(duì)固體、粉末、液體甚至薄膜等各種形態(tài)的樣品進(jìn)行直接分析；其次，其分析速度快、測(cè)量精度高，能夠有效滿足實(shí)驗(yàn)室及現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)分析的需求；再者，該技術(shù)能夠同時(shí)測(cè)定多種元素，且對(duì)輕元素也有較好的檢測(cè)能力，這在多元復(fù)雜體系的研究中尤為重要。